Product Data Materials Compatibility Printer-Friendly Page Gases Aluminum Brass Monel Copper Carbon Steel 316 Stainless Steel Buna-n Butyl Kel-F Neoprene Nylon Poly Ethylene PVC Teflon Vitron 1,3 Butadiene C4H6 Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Poor  Good  Fair  Insufficient Data  Poor  Good  Good  Good  3-Methylbutene C5H10 Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Insufficient Data  Good  Good  Insufficient Data  Insufficient Data  Good  Good  Insufficient Data  Acetylene C2H2 Good  Good/Poor >=65% Copper  Poor  Poor  Good  Good  Insufficient Data  Insufficient Data  Fair  Fair  Insufficient Data  Insufficient Data  Insufficient Data  Fair  Good  Air  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Allene C3H4 Good  Good  Poor  Good  Good  Good  Insufficient Data  Insufficient Data  Good  Good  Insufficient Data  Good  Insufficient Data  Good  Insufficient Data  Ammonia NH3 Fair  Poor  Poor  Good/Poor In presence of moisture  Good/Poor In presence of oxygen  Good  Fair  Insufficient Data  Good  Fair  Insufficient Data  Poor  Good  Good  Poor  Argon Ar Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Arsine AsH3 Poor  Fair  Fair  Good  Good  Good  Fair  Insufficient Data  Good  Fair  Insufficient Data  Insufficient Data  Good  Good  Insufficient Data  Boron Trichloride BCI3 Good  Fair  Insufficient Data  Poor  Good  Good  Insufficient Data  Insufficient Data  Fair  Insufficient Data  Insufficient Data  Insufficient Data  Fair  Fair  Insufficient Data  Boron Trifluoride BF3 Fair/Poor In presence of moisture  Insufficient Data  Good/Poor In presence of moisture  Poor  Good/Poor In presence of moisture  Fair/Poor In presence of moisture  Insufficient Data  Insufficient Data  Fair  Insufficient Data  Insufficient Data  Insufficient Data  Insufficient Data  Fair  Insufficient Data  Boron Trifluoride B11F3 Fair/Poor In presence of moisture  Insufficient Data   Good/Poor In presence of moisture  Poor  Good/Poor In presence of moisture  Fair/Poor In presence of moisture  Insufficient Data  Insufficient Data  Fair  Insufficient Data  Insufficient Data  Insufficient Data  Insufficient Data  Fair  Insufficient Data  Bromine Trifluoride BrF3* Good < 400° C  Insufficient Data  Good < 180° C  Poor In presence of moisture  Good < 180° C  Good < 180° C  Poor  Poor  Good  Good  Insufficient Data  Insufficient Data  Poor  Good  Insufficient Data  Butadiene C4H6 Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Poor  Good  Fair  Insufficient Data  Poor  Good  Good  Good  Carbon Dioxide CO2 Good  Good  Good  Good  Good  Good  Poor  Insufficient Data  Good  Fair  Insufficient Data  Fair  Good  Good  Good  Carbon Monoxide CO Good  Good  Good  Good  Good/Up to 104 Bars  Good  Poor  Poor  Good  Poor  Insufficient Data  Insufficient Data  Fair  Good  Insufficient Data  Carbonyl Sulfide COS Good/Poor In presence of moisture  Good/Poor In presence of moisture  Good/Poor In presence of moisture  Good/Poor In presence of moisture  Good/Poor In presence of moisture  Good/Poor In presence of moisture  Insufficient Data  Insufficient Data  Good  Insufficient Data  Good  Insufficient Data  Good  Good  Good  Chlorine Cl2 Poor  Poor  Poor  Poor  Fair  Good  Fari  Insufficient Data  Good  Poor  Poor  Poor  Fair  Good  Good  Chlorine Trifluoride CIF3* Good/< 400° C  Poor  Good/<180° C  Good/<400° C  Good/<180° C  Good/<180° C  Poor  Poor  Good  Good  Insufficient Data  Insufficient Data  Poor  Good  Insufficient Data  cis-2-Butene C4H8 Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Poor  Good  Fair  Insufficient Data  Poor  Good  Good  Insufficient Data  Cyanogen CNCN Insufficient Data  Insufficient Data  Insufficient Data  Poor  Good  Good  Insufficient Data  Insufficient Data  Good  Insufficient Data  Insufficient Data  Insufficient Data  Insufficient Data  Good  Insufficient Data  Cyanogen Chloride CNCI Insufficient Data  Insufficient Data  Insufficient Data  Poor  Insufficient Data  Fair  Insufficient Data  Insufficient Data  Good  Insufficient Data  Insufficient Data  Insufficient Data  Insufficient Data  Good  Insufficient Data  Cyclopropane C3H6 Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Poor  Good  Fair  Insufficient Data  Poor  Good  Good  Insufficient Data  Deuterium D2 Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Insufficient Data  Good  Good  Good  Insufficient Data  Diborane B2H6 Good  Good  Good  Good  Good  Good  Insufficient Data  Insufficient Data  Good  Insufficient Data  Fair  Insufficient Data  Insufficient Data  Good  Fair  Dichlorosilane SiH2Cl2>1 Poor  Poor  Poor  Poor  Poor  Good  Poor  Poor  Good/<180° C  Poor  Poor  Good/<50° C  Insufficient Data  Good/<250° C  Fair  Dimethyl Ether (CH3)2O Good  Good  Good  Good  Good  Good  Fair  Poor  Poor  Poor  Insuffient Data  Insuffient Data  Insuffient Data  Good  Poor  Dimethylamine (CH3)2NH Poor  Poor  Poor  Poor  Good  Good  Poor  Poor  Good  Insufficient Data  Insufficient Data  Good  Good  Good  Poor  Dimethylpropane C5H12 Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Poor  Insufficient Data  Fair  Insufficient Data  Poor  Good  Insufficient Data  Insufficient Data  Disilane SI2H6 Good  Good  Good  Good  Good  Good  Insufficient Data  Insufficient Data  Good  Insufficient Data  Fair  Insufficient Data  Insufficient Data  Good  Fair  Ethane C2H6 Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Poor  Good  Good  Insufficient Data  Fair  Good  Good  Insufficient Data  Ethyl Choride C2H5CI Good/Poor In presence of moisture  Good/Poor In presence of moisture  Good/Poor In presence of moisture  Good/Poor In presence of moisture  Good/Poor In presence of moisture  Good/Poor In presence of moisture  Good  Poor  Good  Fair  Insufficient Data  Insufficient Data  Poor  Good  Fair  Ethylene C2H4 Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Poor  Good  Good  Insufficient Data  Poor  Good  Good  Insufficient Data  Germane GeH4 Good  Good  Good  Good  Good  Good  Insufficient Data  Insufficient Data  Good  Insufficient Data  Fair  Insufficient Data  Insufficient Data  Good  Fair  Halocarbon 11 CC13F Good  Good  Good  Good  Good  Good  Insufficient Data  Insufficient Data  Good  Poor  Insufficient Data  Insufficient Data  Insufficient Data  Good  Fair  Halocarbon 113 CCl2F-CClF Good  Good  Good  Good  Good  Good  Insufficient Data  Insufficient Data  Fair  Insufficient Data  Insufficient Data  Insufficient Data  Insufficient Data  Good  Insufficient Data  Halocarbon 1132A C2H2F2 Good  Good  Good  Good  Good  Good  Insufficient Data  Good  Fair  Insufficient Data  Insufficient Data  Insufficient Data  Poor  Good  Good  Halocarbon 114 C2Cl2F4 Good  Good  Good  Good  Good  Good  Insufficient Data  Fair  Fair  Good  Insufficient Data  Insufficient Data  Insufficient Data  Good  Fair  Halocarbon 115 C2ClF5 Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Fair  Good  Insufficient Data  Insufficient Data  Insufficient Data  Good  Insufficient Data  Halocarbon 116 C2F6 Good  Good  Good  Good  Good  Good  Insufficient Data  Insufficient Data  Fair  Insufficient Data  Insufficient Data  Insufficient Data  Insufficient Data  Good  Insufficient Data  Halocarbon 12 CC12F2 Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Insufficient Data  Fair  Good  Insufficient Data  Fair  Insufficient Data  Poor  Fair  Halocarbon 13 CCIF3 Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Fair  Good  Fair  Insufficient Data  Insufficient Data  Good  Insufficient Data  Halocarbon 13 B1 CBrF3 Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Fair  Good  Fair  Insufficient Data  Insufficient Data  Good  Insufficient Data  Halocarbon 14 CF4 Good  Good  Good  Good  Good  Good  Insufficient Data  Insufficient Data  Fair  Insufficient Data  Fair  Insufficient Data  Insufficient Data  Good  Insufficient Data  Halocarbon 142 B CH3CClF2 Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Insufficient Data  Fair  Good  Insufficient Data  Insufficient Data  Insufficient Data  Good  Poor  Halocarbon 152 A C2H4F2 Good  Good  Good  Good  Good  Good  Insufficient Data  Insufficient Data  Fair  Insufficient Data  Insufficient Data  Insufficient Data  Insufficient Data  Good  Insufficient Data  Halocarbon 21 CHCl2F Good  Good  Good  Good  Good  Good  Poor  Poor  Fair  Poor  Good  Insufficient Data  Insufficient Data  Good  Insufficient Data  Halocarbon 22 CHClF2 Good  Good  Good  Good  Good  Good  Poor  Good  Fair  Godo  Poor  Insufficient Data  Insufficient Data  Poor  Poor  Halocarbon 23 CHF3 Good  Good  Good  Good  Good  Good  Insufficient Data  Insufficient Data  Fair  Insufficient Data  Insufficient Data  Insufficient Data  Insufficient Data  Good  Insufficient Data  Helium He Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Hexafluoropropylene C3F6 Good/Poor In presence of moisture  Good/Poor In presence of moisture  Good/Poor In presence of moisture  Good/Poor In presence of moisture  Good/Poor In presence of moisture  Good/Poor In presence of moisture  Good  Insufficient Data  Fair  Good  Insufficient Data  Insufficient Data  Insufficient Data  Good  Insufficient Data  Hydrogen H2 Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Insufficient Data  Good  Good  Hydrogen Bromide HBr Poor  Fair/Poor In presence of moisture  Poor  Fair/In absence of O2  Fair/Poor In presence of moisture  Good/Poor In presence of moisture  Poor  Insufficient Data  Good  Poor  Insufficient Data  Insufficient Data  Insuffient Data  Good  Fair  Hydrogen Chloride HCl Fair  Good/<250° C  Good/<100° C/Poor/In presence of moisture  Poor  Fair/Poor In presence of moisture  Good/Poor In presence of moisture  Insufficient Data  Insufficient Data  Good/<180° C  Insufficient Data  Insufficient Data  Insufficient Data  Good/<50° C  Good/<250° C  Fair  Hydrogen Fluoride HF* Poor  Fair/Poor In presence of oxygen  Fair/Poor In presence of oxygen  Poor  Fair<150° C/Poor In presence of moisture  Poor  Insufficient Data  Insufficient Data  Good/<180° C  Good  Insufficient Data  Good/<50° C  Poor  Good/<250° C  Good  Hydrogen Selenide H2Se Poor  Poor  Poor  Poor  Good  Good  Insufficient Data  Insufficient Data  Good  Insufficient Data  Fair  Insufficient Data  Insufficient Data  Good  Fair  Hydrogen Sulfide H2S Good/Poor In presence of moisture  Poor/In presence of moisture  Insufficient Data  Fair  Insufficient Data  Good/Poor In presence of moisture  Fair  Good  Good/<180° C  Good  Insufficient Data  Insufficient Data  Insufficient Data  Good/<250° C  Insufficient Data  Iodine Pentafluoride IF5 Fair/<400° C  Insufficient Data  Fair/<180° C  Good/<400° C  Fair/<180° C  Good/<180° C  Poor  Poor  Good  Good  Insufficient Data  Insufficient Data  Poor  Good  Insufficient Data  Isobutane i-C4H10 Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Poor  Good  Fair  Insufficient Data  Insufficient Data  Good  Good  Insufficient Data  IsoButylene C4H8 Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Poor  Good  Fair  Insufficient Data  Insufficient Data  Good  Good  Insufficient Data  IsoButylene C4H8 Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Poor  Good  Fair  Insufficient Data  Insufficient Data  Good  Good  Insufficient Data  Krypton Kr Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Methane CH4 Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Poor  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Methyl Bromide CH3Br Poor/Possible forming of spotaneously flammable compounds  Poor  Good/Poor In presence of moisture  Poor  Good/Poor In presence of moisture  Good/Poor In presence of moisture  Poor  Poor  Good  Poor  Insufficient Data  Poor  Poor  Good  Poor  Methyl Chloride CH3Cl Poor/Possible forming of spontaneously flammable compounds  Poor  Good/Poor In presence of moisture  Poor  Good/Poor In presence of moisture  Door/Poor In presence of moisture  Poor  Poor  Good  Poor  Insufficient Data  Poor  Poor  Good  Fair  Methyl Fluoride CH3F Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Insufficient Data  Good  Good  Insufficient Data  Insufficient Data  Good  Good  Good  Methyl Mercaptan CH3SH Poor  Poor  Poor  Poor  Fair  Good  Insufficient Data  Insufficient Data  Good  Insufficient Data  Insufficient Data  Insufficient Data  Insufficient Data  Good  Insufficient Data  Methylacetylene  Good  Good/Poor>=65% Copper  Poor  Good  Good  Good  Good  Poor  Fair  Poor  Insufficient Data  Poor  Good  Fair  Good  Monoethylamine C2H5NH2 Poor  Poor  Poor  Insufficient Data  Good  Good  Poor  Insufficient Data  Good  Insufficient Data  Insufficient Data  Good  Insufficient Data  Good  Poor  Monomethylamine C2H5NH2 Poor  Poor  Poor  Insufficient Data  Good  Good  Poor  Insufficient Data  Good  Fair  Insufficient Data  Good  Insufficient Data  Good  Poor  n-Butane C4H10 Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Poor  Good  Poor  Insufficient Data  Insufficient Data  Insufficient Data  Good  Fair  Neon Ne Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Nitric Oxide NO Good/Poor In presence of moisture  Insufficient Data  Insufficient Data  Poor In presence of moisture  Good/Poor In presence of moisture  Good/Poor In prsence of moisture  Insufficient Data  Insufficient Data  Good  Insufficient Data  Insufficient Data  Good  Insufficient Data  Good  Good  Nitrogen N2 Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Nitrogen Dioxide NO2 Good/Poor In presence of moisture  Poor  Poor  Poor  Good/Poor In presence of moisture  Good  Insufficient Data  Insufficient Data  Fair  Insufficient Data  Insufficient Data  Insufficient Data  Insufficient Data  Good  Poor  Nitrogen Trifluoride NF3 Insufficient Data  Insufficient Data  Good/<180° C  Good/<400° C  Good/<180° C  Good/<180° C  Insufficient Data  Insufficient Data  Good  Insufficient Data  Insufficient Data  Insufficient Data  Insufficient Data  Good  Insufficient Data  Nitrogen Trioxide N2O3 Insufficient Data  Insufficient Data  Insufficient Data  Poor  Good  Good  Insufficient Data  Insufficient Data  Good  Insufficient Data  Insufficient Data  Insufficient Data  Insufficient Data  Good  Insufficient Data  Nitrous Oxide N2O Poor  Good  Good  Good  Fair  Good  Fair  Insufficient Data  Good  Fair  Insufficient Data  Insufficient Data  Good  Good  Good  Oxygen O2 Poor  Good  Good  Good  Fair  Good  Insufficient Data  Insufficient Data  Good  Good  Insufficient Data  Poor  Poor  Good  Good  Perfluoropropane C3F8 Good  Good  Good  Good  Good  Good  Insufficient Data  Insufficient Data  Good  Insufficient Data  Insufficient Data  Good  Good  Good  Insufficient Data  Phosgene COCl2 Poor  Insufficient Data  Insufficient Data  Good/Poor In presence of moisture  Fair/Poor In presence of moisture  Good/Poor In presence of moisture  Good  Good  Good  Good  Insufficient Data  Insufficient Data  Good/<50° C  Good  Good  Phosphine PH3 Poor  Insufficient Data  Poor  Insufficient Data  Good  Good  Insufficient Data  Insufficient Data  Good  Insufficient Data  Fair  Insufficient Data  Insufficient Data  Good  Fair  Propane C3H8 Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Poor  Good  Fair  Insufficient Data  Poor  Good  Good  Insufficient Data  Propylene C3H6 Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Poor  Good  Fair  Insufficient Data  Insufficient Data  Good  Good  Insufficient Data  Silane SiH4 Good  Good  Good  Good  Good  Good  Insufficient Data  Insufficient Data  Good  Good  Fair  Insufficient Data  Insufficient Data  Good  Fair  Silicon Tetrafluoride SiF4* Poor  Insufficient Data  Fair/Poor In presence of oxygen  Good/Poor In presence of moisture  Fair<150° C/Poor In presence of moisture  Poor  Insufficient Data  Insufficient Data  Good/<180° C  Good  Insufficient Data  Good/<50° C  Poor  Good/<250° C  Insufficient Data  Sulfur Dioxide SO2 Good/Poor In presence of moisture  Fair/Poor In presence of moisture  Good/Poor In presence of moisture  Insufficient Data  Good/Poor In presence of moisture  Good/Fair In presence of moisture  Poor  Good  Good/<180° C  Poor  Poor  Insufficient Data  Insufficient Data  Good/<250° C  Insufficient Data  Sulfur Hexafluoride SF6 Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Sulfur Tetrafluoride SF4 Good/Poor In presence of moisture  Good/Poor In presence of moisture  Good/Poor In presence of moisture  Good/Poor In presence of moisture  Good  Good/Poor In presence of moisture  Insufficient Data  Insufficient Data  Poor  Insufficient Data  Poor  Good/<50° C  Poor  Good/<50° C  Insufficient Data  Tetrafluoreothylene C2F4 Good  Good  Good  Good  Good  Good  Insufficient Data  Insufficient Data  Fair  Insufficient Data  Insufficient Data  Insufficient Data  Good  Poor  Good  trans-2-Butene C4H8 Good  Good  Good  Good  Good  Good  Poor  Poor  Good  Fair  Insufficient Data  Poor  Good  Good  Insufficient Data  Trimethylamine (CH3)3N Poor  Poor  Poor  Poor  Good  Good  Poor  Insufficient Data  Good  Insufficient Data  Insufficient Data  Good  Good  Good  Poor  Tunsten Hexafluoride WF3 Good/<400° C  Insufficient Data  Good/<180° C  Good/<400° C  Good/<180° C  Good/<180° C  Insufficient Data  Insufficient Data  Good  Insufficient Data  Insufficient Data  Insufficient Data  Insufficient Data  Good  Insufficient Data  Vinyl Chloride C2H3Cl Good/Poor In presence of moisture  Good/Poor In presence of moisture  Good/Poor In presence of moisture  Good/Poor In presence of moisture  Good/Poor In presence of moisture  Good/Poor In presence of moisture  Insufficient Data  Insufficient Data  Good  Insufficient Data  Good  Insufficient Data  Insufficient Data  Good  Good  Xenon Xe Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good  Good